真空PVD镀膜涂层工艺的步骤是很多客户比较想了解的问题，复合涂层厂家指出，真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤分为前处理工艺、镀膜工艺、后处理工艺，那么具体是怎么实施的？下面复合涂层厂家——苏州钛铬纳米技术有限公司给大家详细介绍。
1、前处理工艺
褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹；
2、镀膜工艺
抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉；
3、后处理工艺
清洗：确保镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量;；
抽真空：将真空室内的残余气体抽走；
加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放；
压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率；
轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面；
镀膜：沉积膜层；
冷却：避免工件氧化变色
为什么要进行冷却？
镀膜工艺完成后，真空室内温度高达500℃，不冷却就放气，没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。
冷却如何进行？
1. 高阀关闭，真空计关闭，真空室与泵组隔离。
2. 当操作人员按下N2 vent按钮，预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室，当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时，N2充气阀关闭。
3. 真空室内充入了大量N2，真空度很低，更加有利于热传导，所以降温速度比不充冷却N2时快很多，缩短冷却时间，提高生产效率，实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。
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